Pompa cu levitație magnetică, CXF-320 / 3001E, răcire cu apă, ISO-F, la bord

Scurta descriere:

Rulmentul electromagnetic mai este numit „urși magnetici activi levitați”, constând dintr-un rulment magnetic, un senzor și un sistem de control. Acest design are un răspuns dinamic și o reglare în timp util, arborele de mare viteză și o funcționare fiabilă.


Detaliile produsului

Etichete de produs

Pompele moleculare levitate magnetic sunt pompele ale căror axuri sunt susținute în virtutea forței magnetice.
Pompele moleculare cu serie magnetică levitată sunt echipamente de generare a vidului dezvoltate de KYKY pentru îndeplinirea cerințelor de aplicare pentru domeniile producției moderne de semiconductori, producției de cipuri, placării industriale și instrumentelor științifice.

Avantaje:

1. Frecare zero în timpul funcționării și consum redus de energie
2. Ușor de achiziționat vid foarte înalt și foarte înalt, fără lubrifiere pentru pompe
3. Capabil să extragă gaze corozive pe termen lung
4. Siguranță ridicată și durată lungă de viață datorită protecției rulmenților cu bile ceramice de precizie
5. funcția generatoare de energie în caz de oprire bruscă
6. Fără frecare
7. Fără poluare
8. Fără întreținere
9. Vibrație scăzută
10. instalat în orice orientare.

Aplicații:

Seriile de pompe moleculare levitate magnetic se aplică în principal domeniilor de fabricație a semiconductorilor, fabricării clemelor, placării industriale și instrumentelor științifice, în special extracției gazelor corozive existente în etch, CVD, PVD și implantării ionilor și gazelor ușor coagulate la temperatura normală.

Specificații:

Model CXF-320 / 3001E
Viteza pompei (l / s, aer) 3200
Rata compresiei > 1 × 108
Ultimate Vacuum (Pa) ≤5 × 10-7
Flansa de admisie ISO-F 320
Flansa de evacuare KF 40
Viteza de rotație (rpm) 24000
Timp de alergare (min) 12
VIB (mm) <0,05
Pompa de sprijin (L / s) 15
Montare sau ientare Orice
Metoda de răcire Apă
Greutate (kg) (cu controler) 75

Tehnologii:

  • Tehnologie de control pentru rulmenți magnetici: un levit magnetic cu 5 axe, bazat pe teoria avansată a controlului internațional, pentru a garanta astfel de avantaje semnificative ale arborelui de mare viteză, precum o funcționare stabilă levitată și fiabilă.
  • Tehnologie de control al acționării motorului: Motor de curent continuu de înaltă eficiență și sistem de control servo, având energia maximă a motorului și compensează automat viteza de rotație a arborelui, realizând astfel pornire stabilă, funcționare fiabilă și funcție de reglare automată a energiei dinamice.
  • Tehnologia rotorului compozit din fibră de carbon: Realizat prin amestecarea aliajului de aluminiu de înaltă rezistență și a fibrelor de carbon ușoare. caracterizat de o mare reducere a greutății și o mare îmbunătățire a rezistenței, astfel încât să se atingă obiective de viteză mare de rotație, performanță ridicată și fiabilitate ridicată.
  • Tehnologie rezistentă la coroziune: Suprafețele pieselor din camere sunt tratate cu un proces special, astfel încât suprafețele să reziste mult timp la coroziunea cauzată de gazele corozive din procesele de fabricație a semiconductoarelor. În plus, gazele inerte, cum ar fi N2, sunt complet umplute cu pompe pentru a proteja părțile cu vid scăzut din pompe, astfel încât funcția de a epuiza stabil gazele corozive pentru perioade lungi de timp.
  • Sistem de control al temperaturii de încălzire: echipat cu un încălzitor electric și un regulator de temperatură, apa de răcire, încălzirea aer-os, încălzirea electrică și căldura transportată de gazele de protecție pot fi monitorizate și controlate în timpul funcționării, temperatura din pompe poate fi menținută la o anumită valoare pe termen lung, unele gazoase substanțele nu sunt transformate în substanțe solide la temperatura normală și nu sunt depozitate în pompe și pot fi îndeplinite cerințele pentru un proces special, precum gravarea.

  • Anterior:
  • Următorul:

  • Scrieți mesajul dvs. aici și trimiteți-l nouă

    Categorii de produse