Avantaje:
Această serie de pompe este bună la performanțe în condiții de mediu dure (temperatură ridicată, praf etc.), stabilă în performanță și cu o durată de viață lungă, precum și întreținere simplă și funcționare convenabilă.
Aplicații:
Principalele aplicații se referă la detectarea scurgerilor industriale, PVD, CVD, implantarea ionilor, fabricarea componentelor electronice sub vid, sticlă low-E, sticlă ITO, acoperire optică, celule solare, sudare cu fascicul de electroni, cuptor cu vid și alte industrii
Specificații:
Flansa (In) | DN400 ISO-K | Gaz pe tot parcursul (sccm) | N2: 5500 |
Flanșă (Afară) KF | DN100 | El : 4000 | |
Viteza de pompare (L / s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
El : 2650 | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Viteza de rotație (rpm) | 13500 | |
Ar : 3200 | Timp de alergare (min) | ≤18 | |
Rata compresiei | N2: 108 | Tip de răcire, standard | Apă |
El : 103 | Consumul de apă de răcire (L / min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura apei de răcire (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Conexiune de alimentare: Tensiune (V c.a. | DC24 / AC220 | |
Presiune finală (Pa) | 6 × 10-6 | Consum maxim de energie (W) | ≤1100 |
Max. Presiune continuă de vid înainte (Pa) | 100 | Modelul controlerului | FD-III |
Max. Presiune de vid înainte | N2: 300 | Greutate (kg) | 130 |