Manometrul compus model ZDF-62B5 este compus din 2 seturi de unități de măsurare cu vid redus și 1 set de unități de măsurare cu vid ridicat. O unitate de manometru de rezistență (RG 2) este utilizată pentru a realiza măsurarea (1,0 × 10E5Pa~1,0 × 10E-7Pa) independent, unitatea de manometru de rezistență (RG1) combinată cu manometru de ionizare, ca unitate compusă, este de a realiza controlul și măsurarea continuă (1 × 10E5~1 × 10E-7Pa).